沉積爐升溫后何時開爐,就像烘焙蛋糕時決定何時打開烤箱門——太早會塌陷,太晚可能烤焦。對于多數沉積工藝,爐溫降至300-400℃時開爐較為合適。這個溫度區間既能保證沉積層穩定,又避免高溫開爐導致的材料氧化或熱應力損傷。
材料特性:不同基材對溫度敏感度差異大,金屬件通常比陶瓷件能承受更高開爐溫度
沉積類型:化學氣相沉積(CVD)比物理氣相沉積(PVD)需要更嚴格控溫
工藝要求:精密器件往往需要更低開爐溫度來保證尺寸精度
實際操作時建議分步觀察:先讓爐體自然降溫至目標區間,打開觀察窗檢查沉積層狀態。若表面均勻無裂紋,可逐步開啟爐門。記住用紅外測溫儀實時監控,避免溫度驟變。初始嘗試新工藝時,建議從較高溫度開始測試,逐步優化至理想開爐點。